Вакуумдук методдо сыналган газ атмосферадан эвакуацияланган үлгүнүн дубалына урулат. Ал агып кеткенде үлгүгө кирет жана агып кетүү детекторуна берилет. Үлгү вакуумдук басымга туруктуу болушу керек. GROSS -FINE -ULTRA сезгичтик этаптары өтөт. Аныктоо чеги жыттоо ыкмасына караганда төмөн. Агып кетүүдөгү гелийдин концентрациясы агып чыгуунун санын аныктоо үчүн белгилүү болушу керек. Тең салмактуулук абалын күтүш керек.